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光刻膠中的eth和eop是什么意思?

2023-08-01 14:36:18

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okx

ETH是指在顯影后，膜的厚度為0時(shí)，所需的最低曝光量。換句話說(shuō)，它是在光刻過(guò)程中，用于達(dá)到膜厚為0的最小曝光量。

EOP是指在光刻膠上實(shí)現(xiàn)圖形的1:1復(fù)制所需的曝光量。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，它是用于確保光刻膠能夠精確復(fù)制出原始圖形的曝光量。

希望這樣的解釋能更好地幫助你理解！

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